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Ultra Precision 3D Optical Profiler

Die Talysurf CCI Serie bietet berührungslose 3D-Messung auf Basis der Coherence Correlations Interferometrie. Es werden Messungen mit 1 Million Datenpunkten innerhalb von 10 Sekunden bei einer Auflösung von 0.01nm (0.1Å) durchgeführt.

Talysurf CCI 9150 Das Talysurf CCI9150 verfügt über einen extrem rauscharmen Sensor (ultra low noise) mit 1 Million Datenpunkte als Standard. Das verbesserte Signal-Rausch-Verhältnis (signal-to-noise ratio) liefert unerreichte Wiederholbarkeit und Detailtiefe. Es wurde speziell für anspruchsvolle, vollautomatische Anwendungen entwickelt z.B. Data Storage, Halbleiterfertigung und MEMS.

• 0.1 Å (0.01 nm) ertikale Auflösung
• 0.2 Å (0.02 nm) Grundrauschen (real measurement data)
• > 1,000,000 Datenpunkte
• AlTiC und DLC Materialkompensation verfügbar
• 0.03 Å (0.003 nm) RMS Wiederholbarkeit

Auflösung im Sub-Angstrom-Bereich

Das Talysurf CCI 9150 ist unerläßlich für Anwendungen die maximale Genauigkeit im Bereich der 3D-Messung benötigen. Die Auflösung von 0.1 Å in Z über den gesamten Messbereich kombiniert mit einem sehr niedrigen Grundrauschen von <0.2 Å machen das Talysurf CCI9150 zum Besten in seiner Klasse.

Talysurf CCI 6000 Das Talysurf CCI6000 ist ein hochgenaues Messgerät mit 1 Million Datenpunkte als Standard. Es liefert unerreichte Wiederholbarkeit und Detailtiefe. Es wurde für Anwendungen im Sub-Mikrometer und Sub-Nanometer-Bereich der Z-Auflösung entwickelt z.B. Halbleiterfertigung und MEMS als auch in Bereichen der Forschung oder der Optischen Industrie.

• 0.1 Å (0.01 nm) Vertikale Auflösung
• 0.5 Å (0.05 nm) Grundrauschen (real measurement data)
• > 1,000,000 Datenpunkte als Standard, > 4,000,000 Datenpunkte optional

Auflösung im Sub-Angstrom-Bereich

Das Talysurf CCI 6000 ist unerläßlich für Anwendungen die höchste Genauigkeit im Bereich der 3D-Messung benötigen. Die Auflösung von 0.1 Å in Z über den gesamten Messbereich kombiniert mit einem sehr niedrigen Grundrauschen von <0.5 Å machen das Talysurf CCI6000 zum Besten in seiner Klasse.