Berührungslose Messtechnik

Zur berührungslosen Messung von Rauheit, Stufenhöhe, Form, Schichtdicken, Winkel und kritischen Dimensionen.

Talysurf CCI

Das TalySurf CCI ist ein hochentwickeltes, optisches 3-D-Messgerät zur Charakterisierung von Oberflächen. Die Topografie der Oberfläche kann mit einer Auflösung in Z von 0,01nm und einem lateralen Messpunktabstand von 0,4 µm bei einer Datendichte von 1.000.000 Datenpunkten erfasst werden.

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Ultra Precision Benchtop 3D Optical Profiler

Das hochgenaue Talysurf CCI MP bringt neueste Technologien und höchste Genauigkeit in Reichweite von Produktion und Forschung.
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Ultra Precision 3D Optical Profiler Range

Die Talysurf CCI Serie bietet berührungslose 3D-Messung auf Basis der Coherence Correlations Interferometrie. Es werden Messungen mit 1 Million Datenpunkten innerhalb von 10 Sekunden bei einer Auflösung von 0.01nm (0.1Å) durchgeführt.
"Thin Film" Berechnung mit dem Talysurf CCI

"Thin Film" Berechnung mit dem Talysurf CCI

Auf beschichteten Oberflächen können mit Hilfe des Talysurf CCI die Schichtdicke, die reale und die Interfacerauheit ermittelt werden. Die neue Technologie erlaubt Schichtdickenmessung im Bereich von mehreren Mikrometern bis zu 20 nm.